PRODUCTS INFORMATIONリニアボールブッシュ

Z32AB05-AC3-350875

製品仕様 項目 Z32AB05-AC3-350875 Zストローク ±10.5mm TILTストローク θx:±7° θy:±4° クサビ比   1/4 テーブルサイズ 500×500mm ベースサイズ 500×500m […]

Z16AB06-AC3-200050

製品仕様 項目 Z16AB06-AC3-200050 Zストローク ±6.5mm TILTストローク θx:±7.4° θy:±4.3° クサビ比   1/4 テーブルサイズ 300×300mm ベースサイズ 300×3 […]

TIL3Z-2004PR

製品仕様 項目 TIL3Z-2004PR Zストローク  Z軸:±8㎜ (θx θyが0°時) TILTストローク  θx:±3° θy:±3°(Z軸が0mmの時) クサビ比  1/4 テーブルサイズ  280×280m […]

XYθステージ_NAF3D-40K02

製品仕様 項目 NAF3D-40K02 ※1 ストローク ※2  XY:±5㎜ ・ θ:3° テーブルサイズ  400×400mm  (中穴:□125) ベースサイズ  400×400mm  (中穴:□125) 高さ   […]

XYθステージ_NAF3C-40K00

製品仕様 項目 NAF3C-40K00 ※1 ストローク ※2 XY±5mm・Θ±3° テーブルサイズ 400mm x 400mm ベースサイズ 400mm x 400mm 高さ 80mm 繰返し位置決め精度 ±1μm以 […]

XYθステージ_NAF3C-30K00

製品仕様 項目 NAF3C-30K00 ※1 ストローク ※2 XY±5mm・Θ±3° テーブルサイズ 300mm x 300mm ベースサイズ 320mm x 320mm 高さ 70mm 繰返し位置決め精度 ±1μm以 […]

XYθステージ_NAF3C-20K01

製品仕様 項目 NAF3C-20K01 ※1 ストローク ※2 XY±5mm・Θ±3° テーブルサイズ 200mm×200mm ベースサイズ 220mm x 220mm 高さ 65mm 繰返し位置決め精度 ±1μm以内 […]

XYθステージ_NAF3C-16K00

製品仕様 項目 NAF3C-16K00 ※1 ストローク ※2 XY±5mm・Θ±3° テーブルサイズ 160mm x 160mm ベースサイズ 170mm x 170mm 高さ 45mm 繰返し位置決め精度 ±0.7μ […]

XYθステージ_NAF3C-10-01P

製品仕様 項目 NAF3C-10-01P ストローク ※1 XY±2mm・Θ±2° テーブルサイズ 100mm x 100mm ベースサイズ 120mm x 120mm 高さ 35mm 繰返し位置決め精度 ±1μm以内 […]

Zチルトステージ

アクチュエータ部 仕様内容 サイズ W360mm×D100mm×H130mm ストローク 10mm 最小分解能 0.1μm 耐荷重 1500N/1台 繰返し位置決め精度 2μm