PRODUCTS INFORMATIONリニアボールブッシュ
Z32AB05-AC3-350875
製品仕様 項目 Z32AB05-AC3-350875 Zストローク ±10.5mm TILTストローク θx：±7° θy：±4° クサビ比 1/4 テーブルサイズ 500×500mm ベースサイズ 500×500m […]
Z16AB06-AC3-200050
製品仕様 項目 Z16AB06-AC3-200050 Zストローク ±6.5mm TILTストローク θx：±7.4° θy：±4.3° クサビ比 1/4 テーブルサイズ 300×300mm ベースサイズ 300×3 […]
TIL3Z-2004PR
製品仕様 項目 TIL3Z-2004PR Zストローク Z軸：±8㎜ (θx θyが0°時) TILTストローク θx：±3° θy：±3°(Z軸が0mmの時) クサビ比 １／４ テーブルサイズ 280×280m […]
XYθステージ_NAF3D-40K02
製品仕様 項目 NAF3D-40K02 ※1 ストローク ※2 XY：±5㎜ ・ θ：3° テーブルサイズ 400×400mm （中穴：□125） ベースサイズ 400×400mm （中穴：□125） 高さ […]
XYθステージ_NAF3C-40K00
製品仕様 項目 NAF3C-40K00 ※1 ストローク ※2 XY±5ｍｍ・Θ±3° テーブルサイズ 400mm x 400mm ベースサイズ 400mm x 400mm 高さ 80mm 繰返し位置決め精度 ±1μｍ以 […]
XYθステージ_NAF3C-30K00
製品仕様 項目 NAF3C-30K00 ※1 ストローク ※2 XY±5ｍｍ・Θ±3° テーブルサイズ 300mm x 300mm ベースサイズ 320mm x 320mm 高さ 70mm 繰返し位置決め精度 ±1μｍ以 […]
XYθステージ_NAF3C-20K01
製品仕様 項目 NAF3C-20K01 ※1 ストローク ※2 XY±5ｍｍ・Θ±3° テーブルサイズ 200mm×200mm ベースサイズ 220mm x 220mm 高さ 65mm 繰返し位置決め精度 ±1μｍ以内 […]
XYθステージ_NAF3C-16K00
製品仕様 項目 NAF3C-16K00 ※1 ストローク ※2 XY±5ｍｍ・Θ±3° テーブルサイズ 160mm x 160mm ベースサイズ 170mm x 170mm 高さ 45mm 繰返し位置決め精度 ±0.7μ […]
XYθステージ_NAF3C-10-01P
製品仕様 項目 NAF3C-10-01P ストローク ※1 XY±2ｍｍ・Θ±2° テーブルサイズ 100mm x 100mm ベースサイズ 120mm x 120mm 高さ 35mm 繰返し位置決め精度 ±1μｍ以内 […]
Zチルトステージ
アクチュエータ部 仕様内容 サイズ W360mm×D100mm×H130mm ストローク 10mm 最小分解能 0.1μm 耐荷重 1500N/1台 繰返し位置決め精度 2μm