PRODUCTS INFORMATIONXYθステージ（アライメントステージ）
XYθステージ（アライメントステージ）PRODUCTS
電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり装置全体の低重心化が実現可能です。
動作原理
同一平面上に配置した3つのアクチュエータを各々動作させることにより、様々なテーブル動作が可能になります。
U軸を動作させると、テーブルはX方向へ移動します。
V、W軸を同一方向に同じ量を動作させると、テーブルはY方向へ移動します。
V、W軸を同一方向に同じ量を、そして同時にU軸を動作させると、テーブルは斜め方向へ移動します。
テーブル中心を旋回中心としてテーブルが回転（θ軸）している例です。
任意の点を旋回中心としてテーブルが回転（θ軸）している例です。
NAF3シリーズ Cタイプ
NAF3シリーズ CタイプはUVWの３軸アクチュエータとスライド部に中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。
各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。
薄型コンパクト・高剛性・高精度な位置決めが行えます。
NAF3シリーズ Dタイプ
予圧型ダブルスライドを使用しないタイプで、可動範囲が広く設けられます。
またステージ中央部に開口部を設けることが可能です。
NAF3シリーズの導入事例
- 半導体製造装置、検査装置
- LCD、PDP、ELパネル製造、検査装置
- スクリーン印刷、プリント基板印刷機
- 顕微鏡ステージ 他
システム構成図
製品仕様
| 型式 | テーブルサイズ×高さ（原点時） | ストローク | 静止時負荷容量 | |
|---|---|---|---|---|
| NAF3C-10-01P | 100ｍｍ×100ｍｍ×35ｍｍ | XY±2ｍｍ・Θ±2° | 200N | 詳細ページへ |
NAF3C-16K00  |
160ｍｍ×160ｍｍ×45ｍｍ | XY±5ｍｍ・Θ±3° | 1000N | 詳細ページへ |
| NAF3C-20K01 |
200ｍｍ×200ｍｍ×65ｍｍ | XY±5ｍｍ・Θ±3° | 2000N | 詳細ページへ |
| NAF3C-30K00 | 300ｍｍ×300ｍｍ×70ｍｍ | XY±5ｍｍ・Θ±3° | 4000N | 詳細ページへ |
| NAF3C-40K00 | 400ｍｍ×400ｍｍ×80ｍｍ | XY±5ｍｍ・Θ±3° | 6000N | 詳細ページへ |
| NAF3D-40K02 | 400ｍｍ×400ｍｍ×84.5ｍｍ | XY±5ｍｍ・Θ±3° | 6000N | 詳細ページへ |
※1 ステッピングモータ（型式 -P）または、サーボモータ（型式 -S）のいずれかを選択下さい。
※2 ストロークは、原点位置（トップテーブル中央時）から各軸同時にフルストローク動作させることが可能です。
※3 垂直方向等分布での負荷容量となります。搬送ステージ等に搭載される際は、上記の値は適用されません。
※4 ステッピングモータのドライバは、オープンコレクタ仕様となります。
※5 フォトマイクロセンサは各軸の駆動モジュールにそれぞれ3個づつ付いております。
型式構成
