PRODUCTS INFORMATIONXYθステージ(アライメントステージ)

XYθステージ(アライメントステージ)PRODUCTS

電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり装置全体の低重心化が実現可能です。

動作原理

同一平面上に配置した3つのアクチュエータを各々動作させることにより、様々なテーブル動作が可能になります。

U軸を動作させると、テーブルはX方向へ移動します。

V、W軸を同一方向に同じ量を動作させると、テーブルはY方向へ移動します。

V、W軸を同一方向に同じ量を、そして同時にU軸を動作させると、テーブルは斜め方向へ移動します。

テーブル中心を旋回中心としてテーブルが回転(θ軸)している例です。

任意の点を旋回中心としてテーブルが回転(θ軸)している例です。

NAF3シリーズ Cタイプ

NAF3シリーズ CタイプはUVWの3軸アクチュエータとスライド部に中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。
各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 薄型コンパクト・高剛性・高精度な位置決めが行えます。

予圧型ダブルスライド構造

NAF3シリーズ Dタイプ

予圧型ダブルスライドを使用しないタイプで、可動範囲が広く設けられます。
またステージ中央部に開口部を設けることが可能です。

NAF3シリーズの導入事例

  • 半導体製造装置、検査装置
  • LCD、PDP、ELパネル製造、検査装置
  • スクリーン印刷、プリント基板印刷機
  • 顕微鏡ステージ 他

システム構成図

製品仕様


型式 テーブルサイズ×高さ(原点時) ストローク 静止時負荷容量  
NAF3C-10-01P 100mm×100mm×35mm XY±2mm・Θ±2° 200N 詳細ページへ
NAF3C-16K00
160mm×160mm×45mm XY±5mm・Θ±3° 1000N 詳細ページへ
NAF3C-20K01
200mm×200mm×65mm XY±5mm・Θ±3° 2000N 詳細ページへ
NAF3C-30K00 300mm×300mm×70mm XY±5mm・Θ±3° 4000N 詳細ページへ
NAF3C-40K00 400mm×400mm×80mm XY±5mm・Θ±3° 6000N 詳細ページへ
NAF3D-40K02 400mm×400mm×84.5mm XY±5mm・Θ±3° 6000N 詳細ページへ

※1 ステッピングモータ(型式 -P)または、サーボモータ(型式 -S)のいずれかを選択下さい。
※2 ストロークは、原点位置(トップテーブル中央時)から各軸同時にフルストローク動作させることが可能です。
※3 垂直方向等分布での負荷容量となります。搬送ステージ等に搭載される際は、上記の値は適用されません。
※4 ステッピングモータのドライバは、オープンコレクタ仕様となります。
※5 フォトマイクロセンサは各軸の駆動モジュールにそれぞれ3個づつ付いております。

型式構成

テクニカルインフォメーション
各種製品の2次元・3次元CADデータの閲覧などをご利用頂けます。