PRODUCTS INFORMATIONＺ軸ステージ
Ｚ軸ステージPRODUCTS
電動レベリングブロック くさび式Ｚ軸アクチュエータ ＤＬＢ型
狭いスペース内で重量物のＺ軸方向への位置決め、アライメントに最適な高負荷、高剛性、高分解能、省電力アクチュエータです。
用途
- フラット面の平行出しアライメント
- 重量物の微少な昇降
- 加圧機構部
特長
高負荷・高剛性
Ｗクロスローラガイド（*1）を全案内部に配置し断面積あたりの負荷容量、高剛性に優れています。
コンパクト・高推力
取り付け寸法８０mm×２２０mm・高さ７５mmのコンパクトサイズから油圧ジャッキ並みの 高推力（4900Ｎ）を生みだします。
高分解能・高精度
１/５０減速機+１/１０勾配楔機構+２mmリードボールねじの採用により０．００４μm/Ｐの高分解能を有します。 高負荷状態で高い静的精度を維持します。
省電力・ノンブレーキ
フランジ角２０mmのステッピングモータの採用により入力電流は0.7A許容荷重以下では自重落下が無い為ブレーキ機構が不要です。
容易な調整
ボールねじ端の六角穴を利用して人力での駆動が可能です。 電気設備が整う前でも動かす事ができます。
Ｗクロスローラガイド（特許取得済）
【*1】Ｗクロスローラガイド（特許取得済）はオリジナル商品です。ローラ配列を２段にする事により負荷容量を上げ、レールの断面二次モーメントも大きくなることから構造物としての剛性が向上。特にモーメント剛性の向上に効果的です。
性能
寸法
製品仕様
| メカ仕様 | 有効ストローク | 3（mm) |
|---|---|---|
| 限界ストローク | 3.4（mm) | |
| テーブル面サイズ | 145×80（mm) | |
| 可動搭載荷重 | 5880(N) | |
| 保障掲載荷重 | 4900(N) | |
| 質 量 | 7.2(kg) | |
| 精度仕様 | 分解能 | 0.004（μm/P) |
| 最高速度 | 0.2（mm/s) | |
| 繰返位置決め制度 | ±1（μm) | |
| ロストモーション | 3（μm) | |
| 電装 | 駆動モータ | 5相ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ |
| センサ | ﾌｫﾄﾏｲｸﾛｾﾝｻ（1個） |
手動式 精密レベリングブロック ＳＬＢ型
用途
- フラット面の平行出しアライメント
- 重量物の微少な昇降
- 加圧機構部
特長
高推力
指先でハンドルを回すだけで、最大600ｋｇｆを昇降することができます。負荷時でも自重落下はありません。
精密送り
ハンドル1回転で４μｍ移動します。一方向への追従性は0.5μｍ。
粗動送り
ボールねじ軸端の六角穴へ工具を挿入し200μｍ/回の移動が可能です。
高剛性(＊1)
Ｗクロスローラガイドを使用する事により剛性を高め、負荷による変形が少なく、 常に円滑な動きが得られます。
クランプ機構
ハンドルを固定するクランプ付きです。位置決め後の誤動作を防止します。
剛性
寸法
製品仕様
| ストローク | 3（mm) |
|---|---|
| テーブル面サイズ | 145×80（mm) |
| 許容搭載荷重 | 1000(kgf) |
| 保障搭載荷重 | 600(kgf) |
| 質 量 | 7.2(kg) |
| 移動量 / 回 | 4（μm/回） |
| 反転時 ロス | 3（μｍ） |
| 一方向追従性 | 0.5（μm） |