PRODUCTS INFORMATIONZ軸ステージ

Z軸ステージPRODUCTS

電動レベリングブロック くさび式Z軸アクチュエーター DLB型

狭いスペース内で重量物のZ軸方向への位置決め、アライメントに最適な高負荷、高剛性、高分解能、省電力アクチュエータ―です。

用途

  • フラット面の平行出しアライメント
  • 重量物の微少な昇降
  • 加圧機構部

特徴

高負荷・高剛性

Wクロスローラーガイド(*1)を全案内部に配置し断面積あたりの負荷容量、高剛性に優れています。

コンパクト・高推力

取り付け寸法80mm×220mm・高さ75mmのコンパクトサイズから油圧ジャッキ並みの 高推力(4900N)を生みだします。 

高分解能・高精度

1/50減速機+1/10勾配楔機構+2mmリードボールねじの採用により0.004μm/Pの高分解能を有します。 高負荷状態で高い静的精度を維持します。

省電力・ノンブレーキ

フランジ角20mmのステッピングモーターの採用により入力電流は0.7A許容荷重以下では自重落下が無い為ブレーキ機構が不要です。

容易な調整

ボールねじ端の六角穴を利用して人力での駆動が可能です。 電気設備が整う前でも動かす事ができます。

Wクロスローラーガイド(特許申請中)

【*1】Wクロスローラーガイド(特許申請中)はオリジナル商品です。ローラー配列を2段にする事により負荷容量を上げ、レールの断面二次モーメントも大きくなることから構造物としての剛性が向上。特にモーメント剛性の向上に効果的です。

性能

寸法

製品仕様

メカ仕様 有効ストローク 3(mm)
限界ストローク 3.4(mm)
テーブル面サイズ 145×80(mm)
可動搭載荷重 5880(N)
保障掲載荷重 4900(N)
質 量 7.2(kg)
精度仕様 分解能 0.004(μm/P)
最高速度 0.2(mm/s)
繰返位置決め制度 ±1(μm)
ロストモーション 3(μm)
電装 駆動モーター 5相ステッピングモーター
センサ フォトマイクロセンサー(1個)

手動式 精密レベリングブロック SLB型

用途

  • フラット面の平行出しアライメント
  • 重量物の微少な昇降
  • 加圧機構部

特徴

高推力

指先でハンドルを回すだけで、最大600kgfを昇降することができます。負荷時でも自重落下はありません。

精密送り

ハンドル1回転で4μm移動します。一方向への追従性は0.5μm。

粗動送り

ボールねじ軸端の六角穴へ工具を挿入し200μm/回の移動が可能です。

高剛性(*1)

Wクロスローラーガイドを使用する事により剛性を高め、負荷による変形が少なく、 常に円滑な動きが得られます。

クランプ機構

ハンドルを固定するクランプ付きです。位置決め後の誤動作を防止します。

剛性

寸法

製品仕様

ストローク 3(mm)
テーブル面サイズ 145×80(mm)
許容搭載荷重 1000(kgf)
保障搭載荷重 600(kgf)
質 量 7.2(kg)
移動量 / 回 4(μm/回)
反転時 ロス 3(μm)
一方向追従性 0.5(μm)
テクニカルインフォメーション
各種製品の2次元・3次元CADデータの閲覧、動作シミュレーションなどをご利用頂けます。