PRODUCTS INFORMATIONXYθステージ_NAF3C-20K01
製品仕様
項目 | NAF3C-20K01 ※1 |
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ストローク ※2 | XY±5mm・Θ±3° |
テーブルサイズ | 200mm×200mm |
ベースサイズ | 220mm x 220mm |
高さ | 65mm |
繰返し位置決め精度 | ±1μm以内 |
ロストモーション | 2μm以内 |
静止時負荷容量 ※3 (垂直方向等分布荷重) |
2000N |
移動時負荷容量 ※3 (垂直方向等分布荷重) |
600N |
平行度 | 30μm |
ステッピングモータ型式 | PK543NAW オリエンタルモーター製 |
サーボモータ型式 | HG-KR053(50W) 三菱電機製 |
ボールねじリード | 1㎜ |
ドライバ型式 ※4 | ステッピング:MC-S0514-3L/マイクロステップ製 |
サーボアンプ :MR-J4-10A 三菱電機製 |
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分解能 (出荷時設定) |
ステッピング:0.2μm/pulse / サーボ:0.1μm/pulse |
フォトマイクロセンサ ※5 | PM-L25 / パナソニックデバイスSUNX製 |
ステージ材質 | 鉄:低温黒色クロム処理 / アルミ:黒アルマイト処理 |
質量 | 14kg |
潤滑材 | 低発塵グリス |
※1 ステッピングモータ(型式 -P)または、サーボモータ(型式 -S)のいずれかを選択下さい。
※2 ストロークは、原点位置(トップテーブル中央時)から各軸同時にフルストローク動作させることが可能です。
※3 垂直方向等分布での負荷容量となります。搬送ステージ等に搭載される際は、上記の値は適用されません。
※4 ステッピングモータのドライバは、オープンコレクタ仕様となります。
※5 フォトマイクロセンサは各軸の駆動モジュールにそれぞれ3個づつ付いております。