PRODUCTS INFORMATIONXYθステージ_NAF3C-30K00
製品仕様
| 項目 | NAF3C-30K00 ※1 |
|---|---|
| ストローク ※2 | XY±5ｍｍ・Θ±3° |
| テーブルサイズ | 300mm x 300mm |
| ベースサイズ | 320mm x 320mm |
| 高さ | 70mm |
| 繰返し位置決め精度 | ±1μｍ以内 |
| ロストモーション | 2μｍ以内 |
| 静止時負荷容量 ※3 (垂直方向等分布荷重) |
4000Ｎ |
| 移動時負荷容量 ※3 (垂直方向等分布荷重) |
1000Ｎ |
| 平行度 | 30μm |
| ステッピングモータ型式 | PK546PA／オリエンタルモーター製 |
| サーボモータ型式 | HG-KR053（50W）／三菱電機製 |
| ボールねじリード | 2㎜ |
| ドライバ型式 ※4 | ステッピングMC-S0514-NF-3L／マイクロステップ製 サーボアンプ：MR-J4-10A／三菱電機製 |
| 分解能 （出荷時設定） |
ステッピング：0.2μm/pulse ／ サーボ：0.1μm/pulse |
| フォトマイクロセンサ ※5 | PM-L25 ／ パナソニックデバイスSUNX製 |
| ステージ材質 | 鉄：低温黒色クロム処理 ／ アルミ：黒アルマイト処理 |
| 質量 | 44kg |
| 潤滑材 | 低発塵グリス |
※1 ステッピングモータ（型式 -P）または、サーボモータ（型式 -S）のいずれかを選択下さい。
※2 ストロークは、原点位置（トップテーブル中央時）から各軸同時にフルストローク動作させることが可能です。
※3 垂直方向等分布での負荷容量となります。搬送ステージ等に搭載される際は、上記の値は適用されません。
※4 ステッピングモータのドライバは、オープンコレクタ仕様となります。
※5 フォトマイクロセンサは各軸の駆動モジュールにそれぞれ3個づつ付いております。