PRODUCTS INFORMATION超精密ステージ HWシリーズ

超精密ステージ HWシリーズ 特許出願済PRODUCTS

送り機構に「ボールネジ+クサビ式減速機構」を搭載。また、直動ガイドに「クロスローラガイド」を搭載することで高追従・高精度・高剛性を実現した超精密なステージです。

特徴

高追従性

・50nm送りの追従性

高位置決め精度

・クサビ式減速機構の採用により高分解能を実現
・クサビ機構によりボールねじのよろめきを減少
・クロスローラガイドを採用、摺動抵抗を抑え優れた直進性

高剛性

1/4のクサビ構造により横荷重に対しても従来品(NAF3Cシリーズ)と比べ、剛性が1.5~2倍

製品仕様

製品仕様 超精密XYθアライメントステージ 超精密一軸ステージ
項目 NAFHW3C-16 NAFHW1D-100
ストローク XY軸:±1.4mm θ軸:±1.4° ±3mm
テーブルサイズ 160mm×160mm 100mm×100mm
ベースサイズ 250mm×250mm 143mm×80mm
(モータ飛び出し除く)
高さ 61mm 52.5mm
絶対位置決め精度
※1
XY軸:3μm θ軸:12sec 3μm
繰り返し位置決め精度 XY軸:±0.35μm θ軸:±1.5sec ±0.25μm
ロストモーション XY軸:0.70μm θ軸:3sec 0.5μm
追従性
※2
50nm 50nm
静止時負荷
※3
600N 100N
移動時負荷
※3
300N 100N
最高速度 1mm/sec 1mm/sec
平行度 30μm
モータ ステッピング:PK525PA(オリエンタルモータ製) 
サーボ:HG-AK0236(三菱電機製)
ドライバ ステッピング:MC-S0514-3L(マイクロステップ製)
サーボ:MR-J4-03A6(三菱電機製)
材質 鉄 ー 黒クロム
質量 約10kg 約1.5Kg
潤滑剤 低発塵グリス

※1:弊社からの補正値を入れた場合の精度となります。
※2:分解能0.01μm/pulse設定時となります。
※3:垂直等分布の負荷容量となります。

呼び番号の構成

システム構成図

テクニカルインフォメーション
各種製品の2次元・3次元CADデータの閲覧、動作シミュレーションなどをご利用頂けます。