PRODUCTS INFORMATION超精密ステージ HWシリーズ
超精密ステージ HWシリーズ 特許取得済PRODUCTS
送り機構に「ボールネジ＋クサビ式減速機構」を搭載。また、直動ガイドに「クロスローラガイド」を搭載することで高追従・高精度・高剛性を実現した超精密なステージです。
特長
高追従性
・50nm送りの追従性
高位置決め精度
・クサビ式減速機構の採用により高分解能を実現
・クサビ機構によりボールねじのよろめきを減少
・クロスローラガイドを採用、摺動抵抗を抑え優れた直進性
高剛性
１/４のクサビ構造により横荷重に対しても従来品(NAF3Cシリーズ)と比べ、剛性が1.5～2倍
超精密ステージの導入事例
- 半導体製造装置、各種検査装置
- 光学系アライメント装置
- ナノメータポジショニング装置など
システム構成図
製品仕様
| 製品仕様 | 超精密XYθアライメントステージ | 超精密一軸ステージ |
|---|---|---|
| 項目 | NAFHW3C-16 | NAFHW1D-100 |
| ストローク | XY軸：±1.4mm θ軸：±1.4° | ±３mm |
| テーブルサイズ | 180mm×180mm | 100mm×100mm |
| ベースサイズ | 250mm×250mm | 143mm×80mm (モータ飛び出し除く) |
| 高さ | 55mm | 52.5mm |
| 絶対位置決め精度 ※1 |
XY軸：3μm θ軸：12sec | 3μm |
| 繰り返し位置決め精度 | XY軸：±0.35μm θ軸：±1.5sec | ±0.25μm |
| ロストモーション | XY軸：0.70μm θ軸：3sec | 0.5μm |
| 追従性 ※2 |
50nm | 50nm |
| 静止時負荷 ※3 |
600N | 100N |
| 移動時負荷 ※3 |
300N | 100N |
| 最高速度 | 1mm/sec | 1mm/sec |
| 平行度 | 30μm | ー |
| モータ | ステッピング：PK525PA(オリエンタルモータ製) | |
| サーボ：HG-AK0236(三菱電機製) | ||
| ドライバ | ステッピング：MC-S0514-3L(マイクロステップ製) | |
| サーボ：MR-J4-03A6(三菱電機製) | ||
| 材質 | 鉄 ー 黒クロム | |
| 質量 | 約10kg | 約1.5Kg |
| 潤滑剤 | 低発塵グリス | |
※1：弊社からの補正値を入れた場合の精度となります。
※2：分解能0.01μm／pulse設定時となります。
※3：垂直等分布の負荷容量となります。
型式構成
