PRODUCTS INFORMATIONZチルトステージ
ZチルトステージPRODUCTS
クサビ型Z軸モジュールを3ヶ所配置したチルトステージ。
角度調整する対象物の下面にステージを配置し、各アクチュエータの上下動作により高さや水平レベルの調整が可能です。
テーブルとアクチュエータとのジョイント部は、当社製の球面軸受(SRJ)が使われています。
仕様
ステージサイズ | ストローク | 許容荷重 | ||
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TIL3Z-2004PR | 280mm×280mm×188mm | Z軸:±8mm ΘX・ΘY±3° |
500N | 詳細ページへ |
Z16AB06-AC3-200050 |
300mm×300mm×200mm | θx:±7.4° θy:±4.3° | 900N | 詳細ページへ |
Z32AB05-AC3-350875 |
500mm×500mm×370mm | θx:±7° θy:±4° | 4400N | 詳細ページへ |