Zチルトステージ｜円筒直動軸受メーカー　ヒーハイスト株式会社

ZチルトステージPRODUCTS

定盤やアライメントステージなどの水平レベルを調整する小型電動Z軸アクチュエータです。

調整する定盤などの下面をこのアクチュエータを3個で支持し、各々別々に上下動作させることにより高さの微小調整や水平レベルの調整をすることができます。

本アクチュエータは定盤の傾きを調整したときの3点の中心間距離の変化を吸収することのできる独自のフレキシブルジョイント機構を有しています。

クサビ形機構を採用することにより小型ながら高剛性を実現。

高さの微小調整や水平レベルの調整をすることが出来る多機能電動アクチュエータであり、3点の中心間距離の変化を吸収することのできる独自のフレキシブルジョイント機構を有しています。

高さの微小調整や水平レベルの調整、傾斜機構を利用した焦点深度の浅い顕微鏡装置の光学台や傾斜制御治具として、又小型のZ軸位置決め機構としても利用できます。

テクニカルインフォメーション

各種製品の2次元・3次元CADデータの閲覧、動作シミュレーションなどをご利用頂けます。