Zチルトステージ｜円筒直動軸受メーカー　ヒーハイスト株式会社

ZチルトステージPRODUCTS

クサビ型Z軸モジュールを3ヶ所配置したチルトステージ。

角度調整する対象物の下面にステージを配置し、各アクチュエータの上下動作により高さや水平レベルの調整が可能です。

テーブルとアクチュエータとのジョイント部は、当社製の球面軸受（SRJ）が使われています。

	ステージサイズ	ストローク	許容荷重
Z16AB06-AC3-200050	300ｍｍ×300ｍｍ×200ｍｍ	θx：±7.4°　θy：±4.3°	900N	詳細ページへ
Z32AB05-AC3-350875	500ｍｍ×500ｍｍ×370ｍｍ	θx：±7°　θy：±4°	4400N	詳細ページへ

テクニカルインフォメーション

各種製品の2次元・3次元CADデータの閲覧などをご利用頂けます。