PRODUCTS INFORMATIONZチルトステージ
ZチルトステージPRODUCTS
クサビ型Z軸モジュールを3ヶ所配置したチルトステージ。
角度調整する対象物の下面にステージを配置し、各アクチュエータの上下動作により高さや水平レベルの調整が可能です。
テーブルとアクチュエータとのジョイント部は、当社製の球面軸受（SRJ）が使われています。
仕様
| ステージサイズ | ストローク | 許容荷重 | ||
|---|---|---|---|---|
| TIL3Z-2004PR | 280ｍｍ×280ｍｍ×188ｍｍ | Z軸：±8ｍｍ ΘＸ・ΘＹ±3° |
500N | 詳細ページへ |
Z16AB06-AC3-200050  |
300ｍｍ×300ｍｍ×200ｍｍ | θx：±7.4° θy：±4.3° | 900N | 詳細ページへ |
| Z32AB05-AC3-350875 |
500ｍｍ×500ｍｍ×370ｍｍ | θx：±7° θy：±4° | 4400N | 詳細ページへ |