PRODUCTS INFORMATIONXYθステージ_NAF3C-20K01

製品仕様

項目	NAF3C-20K01 ※1
ストローク ※2	XY±5ｍｍ・Θ±3°
テーブルサイズ	200mm×200mm
ベースサイズ	220mm x 220mm
高さ	65mm
繰返し位置決め精度	±1μｍ以内
ロストモーション	2μｍ以内
静止時負荷容量 ※3 (垂直方向等分布荷重)	2000Ｎ
移動時負荷容量 ※3 (垂直方向等分布荷重)	600Ｎ
平行度	30μm
ステッピングモータ型式	PK543NAW オリエンタルモーター製
サーボモータ型式	HG-KR053（50W） 三菱電機製
ボールねじリード	1㎜
ドライバ型式 ※4	ステッピング：MC-S0514-3L／マイクロステップ製
	サーボアンプ ：MR-J4-10A 三菱電機製
分解能 （出荷時設定）	ステッピング：0.2μm/pulse　／　サーボ：0.1μm/pulse
フォトマイクロセンサ ※5	PM-L25　／　パナソニックデバイスSUNX製
ステージ材質	鉄：低温黒色クロム処理　／　アルミ：黒アルマイト処理
質量	14kg
潤滑材	低発塵グリス

※1 ステッピングモータ（型式 -P）または、サーボモータ（型式 -S）のいずれかを選択下さい。
※2 ストロークは、原点位置（トップテーブル中央時）から各軸同時にフルストローク動作させることが可能です。
※3 垂直方向等分布での負荷容量となります。搬送ステージ等に搭載される際は、上記の値は適用されません。
※4 ステッピングモータのドライバは、オープンコレクタ仕様となります。
※5 フォトマイクロセンサは各軸の駆動モジュールにそれぞれ3個づつ付いております。