PRODUCTS INFORMATIONXYθステージ_NAF3C-10-01P
製品仕様
| 項目 | NAF3C-10-01P |
|---|---|
| ストローク ※1 | XY±2ｍｍ・Θ±2° |
| テーブルサイズ | 100mm x 100mm |
| ベースサイズ | 120mm x 120mm |
| 高さ | 35mm |
| 繰返し位置決め精度 | ±1μｍ以内 |
| ロストモーション | 3μｍ以内 |
| 静止時負荷容量 ※2 (垂直方向等分布荷重) |
200Ｎ |
| 移動時負荷容量 ※2 (垂直方向等分布荷重) |
100Ｎ |
| 平行度 | 30μm |
| ステッピングモータ型式 | PK513PA オリエンタルモーター製 |
| サーボモータ型式 | – |
| ボールねじリード | 1㎜ |
| ドライバ型式 ※3 | ステッピング：MC-S0514-3L／マイクロステップ製 |
| 分解能 （出荷時設定） |
ステッピング：0.2μm/pulse ／ サーボ：0.1μm/pulse |
| フォトマイクロセンサ ※4 | PM-L25 ／ パナソニックデバイスSUNX製 |
| ステージ材質 | 鉄：低温黒色クロム処理 ／ アルミ：黒アルマイト処理 |
| 質量 | 2.2kg |
| 潤滑材 | 低発塵グリス |
※1 ストロークは、原点位置（トップテーブル中央時）から各軸同時にフルストローク動作させることが可能です。
※2 垂直方向等分布での負荷容量となります。搬送ステージ等に搭載される際は、上記の値は適用されません。
※3 ステッピングモータのドライバは、オープンコレクタ仕様となります。
※4 フォトマイクロセンサは各軸の駆動モジュールにそれぞれ3個づつ付いております。