PRODUCTS INFORMATIONＺ軸ステージ
| メカ仕様 | 有効ストローク | 3（mm) |
|---|---|---|
| 限界ストローク | 3.4（mm) | |
| テーブル面サイズ | 145×80（mm) | |
| 可動搭載荷重 | 5880(N) | |
| 保障掲載荷重 | 4900(N) | |
| 質 量 | 7.2(kg) | |
| 精度仕様 | 分解能 | 0.004（μm/P) |
| 最高速度 | 0.2（mm/s) | |
| 繰返位置決め制度 | ±1（μm) | |
| ロストモーション | 3（μm) | |
| 電装 | 駆動モータ | 5相ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ |
| センサ | ﾌｫﾄﾏｲｸﾛｾﾝｻ（1個） |
| メカ仕様 | 有効ストローク | 3（mm) |
|---|---|---|
| 限界ストローク | 3.4（mm) | |
| テーブル面サイズ | 145×80（mm) | |
| 可動搭載荷重 | 5880(N) | |
| 保障掲載荷重 | 4900(N) | |
| 質 量 | 7.2(kg) | |
| 精度仕様 | 分解能 | 0.004（μm/P) |
| 最高速度 | 0.2（mm/s) | |
| 繰返位置決め制度 | ±1（μm) | |
| ロストモーション | 3（μm) | |
| 電装 | 駆動モータ | 5相ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ |
| センサ | ﾌｫﾄﾏｲｸﾛｾﾝｻ（1個） |