PRODUCTS INFORMATIONZ軸ステージ
メカ仕様 | 有効ストローク | 3(mm) |
---|---|---|
限界ストローク | 3.4(mm) | |
テーブル面サイズ | 145×80(mm) | |
可動搭載荷重 | 5880(N) | |
保障掲載荷重 | 4900(N) | |
質 量 | 7.2(kg) | |
精度仕様 | 分解能 | 0.004(μm/P) |
最高速度 | 0.2(mm/s) | |
繰返位置決め制度 | ±1(μm) | |
ロストモーション | 3(μm) | |
電装 | 駆動モータ | 5相ステッピングモータ |
センサ | フォトマイクロセンサ(1個) |