PRODUCTS INFORMATIONTIL3Z-2004PR

製品仕様

項目 TIL3Z-2004PR
Zストローク  Z軸:±8㎜ (θx θyが0°時)
TILTストローク  θx:±3° θy:±3°(Z軸が0mmの時)
クサビ比  1/4
テーブルサイズ  280×280mm
ベースサイズ  280×280mm (モータ飛出し量:17mm)
高さ  188mm (Z軸が0mmの時)
繰返し位置決め精度  Z軸:±2.0μm   θx軸:±6s  θy軸:±6s
静止時負荷容量 ※1 
(垂直等分布荷重)
 500N
移動時負荷容量 ※1 
(垂直等分布荷重)
 500N
ステージ材質  鉄系・・・低温黒色クロム処理
 アルミ系・・・黒アルマイト
ボールねじリード  1mm
ステッピングモータ仕様 モータ型式  ARM26SM0K(電磁ブレーキ付) /オリエンタルモーター製
ドライバ型式  ステッピング:ARD-K /オリエンタルモーター製
分解能(出荷時設定)  0.1μm/pulse
サーボモータ仕様 モータ型式  HG-AK0236B(電磁ブレーキ付)/三菱電機製
ドライバ型式  サーボ:MR-J4-03A6 /三菱電機製
分解能(出荷時設定)  0.1μm/pulse
フォトマイクロセンサ ※2  PM-L25 /パナソニックデバイスSUNX製
重量  22kg
潤滑剤  低発塵グリス

※1 垂直方向等分布での負荷容量となります。搬送ステージ等に搭載される際は、上記の値は適用されません。
※2 フォトマイクロセンサは各軸の駆動モジュールにそれぞれ3個づつ付いております。

テクニカルインフォメーション
各種製品の2次元・3次元CADデータの閲覧などをご利用頂けます。