PRODUCTS INFORMATIONTIL3Z-2004PR
製品仕様
| 項目 | TIL3Z-2004PR | |
|---|---|---|
| Zストローク | Z軸：±8㎜ (θx θyが0°時) | |
| TILTストローク | θx：±3° θy：±3°(Z軸が0mmの時) | |
| クサビ比 | １／４ | |
| テーブルサイズ | 280×280mm | |
| ベースサイズ | 260×260mm （モータ飛出し量：17mm） | |
| 高さ | 188mm （Z軸が0mmの時） | |
| 繰返し位置決め精度 | Z軸：±2.0μm θx軸：±6s θy軸：±6s | |
| 静止時負荷容量 ※1 (垂直等分布荷重) |
500N | |
| 移動時負荷容量 ※1 (垂直等分布荷重) |
500N | |
| ステージ材質 | 鉄系・・・低温黒色クロム処理 アルミ系・・・黒アルマイト |
|
| ボールねじリード | 1mm | |
| ステッピングモータ仕様 | モータ型式 | ARM26SM0K（電磁ブレーキ付） /オリエンタルモーター製 |
| ドライバ型式 | ステッピング：ARD-K /オリエンタルモーター製 | |
| 分解能（出荷時設定） | 0.1μm/pulse | |
| サーボモータ仕様 | モータ型式 | HG-AK0236B（電磁ブレーキ付）／三菱電機製 |
| ドライバ型式 | サーボ：MR-J4-03A6 /三菱電機製 | |
| 分解能（出荷時設定） | 0.1μm/pulse | |
| フォトマイクロセンサ ※2 | PM-Ｌ25 /パナソニックデバイスSUNX製 | |
| 重量 | 22kg | |
| 潤滑剤 | 低発塵グリス | |
※1 垂直方向等分布での負荷容量となります。搬送ステージ等に搭載される際は、上記の値は適用されません。
※2 フォトマイクロセンサは各軸の駆動モジュールにそれぞれ3個づつ付いております。