XYθステージ（アライメントステージ）
電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。
NAF3シリーズ（標準）
薄型ボディに機能を凝縮
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。
予圧型ダブルスライド構造
特長
超薄型シンプル構造と高剛性の両立
3つのアクチュエータを同一平面上に配置することにより超薄型シンプル構造を実現。
また「予圧型ダブルスライド構造（特許取得済み）」はスラスト（垂直方向荷重）剛性・モーメント荷重に強く、偏荷重によるテーブルのたわみや浮き上がりを防止します。
高精度な位置決め
「予圧型ダブルスライド」が荷重を受け、アクチュエータは直接荷重を受けません。これにより荷重変化に影響されない安定した精度が得られます。
旋回中心自由設定
テーブル中心はもとより、任意の座標点を中心にテーブルを旋回させることができます。
動作原理
同一平面上に配置した3つのアクチュエータを各々動作させることにより、様々なテーブル動作が可能になります。
 |
 |
 |
||
| U軸を動作させると、テーブルはX方向へ移動します。 | V、W軸を同一方向に同じ量を動作させると、テーブルはY方向へ移動します。 | V、W軸を同一方向に同じ量を、そして同時にU軸を動作させると、テーブルは斜め方向へ移動します。 | ||
 |
 |
|||
| テーブル中心を旋回中心としてテーブルが回転（θ軸）している例です。 | 任意の点を旋回中心としてテーブルが回転（θ軸）している例です。 |
製品仕様
| 項目 | NAF3C-10 | NAF3C-16 (短納期対応可) |
NEW NAF3C-20 |
|
|---|---|---|---|---|
| 機械仕様 | ストローク | X軸:±2mm Y軸:±2mm θ軸:±2° |
X軸:±3mm Y軸:±3mm θ軸:±3° |
X軸:±3mm Y軸:±3mm θ軸:±3° |
| テーブルサイズ | 100mm x 100mm | 160mm x 160mm | 200mm×200mm | |
| ベースサイズ | 120mm x 120mm | 170mm x 170mm | 220mm x 220mm | |
| 高さ | 35mm | 45mm | 65mm | |
| モータ | ステッピングモータ （□20mm） |
ステッピングモータ （□24mm） |
ステッピングモータ （口42mm） |
|
| ステージ材質 | 鉄-低温黒色クロム処理 アルミ-黒アルマイト処理 |
|||
| 質量 | 2.2kg | 6kg | 14kg | |
| 精度 仕様 |
分解能(出荷時設定) | 0.2μm/pulse | ||
| 繰返し位置決め精度 | ±1.0μｍ以内 | ±0.7μｍ以内 | ±1μｍ以内 | |
| ロストモーション | 3.0μｍ以内 | 2.0μｍ以内 | 2.0μｍ以内 | |
| 静止時負荷容量 (垂直方向等分布荷重) |
50Ｎ | 500Ｎ | 1000Ｎ | |
| 移動時負荷容量 (垂直方向等分布荷重) |
10Ｎ | 100Ｎ | 200Ｎ | |
| 平行度 | 30μm | |||
| 項目 | NEW NAF3C-30 |
NAF3C-40 | |
|---|---|---|---|
| 機械 仕様 |
ストローク | X軸:±3mm Y軸:±3mm θ軸:±3° |
X軸:±3mm Y軸:±3mm θ軸:±3° |
| テーブルサイズ | 300mm x 300mm | 400mm×400mm | |
| ベースサイズ | 320mm x 320mm | 400mm x 400mm | |
| 高さ | 70mm | 80mm | |
| モータ | ステッピングモータ （□42mm） |
サーボモータ （50W） |
|
| ステージ材質 | 鉄-低温黒色クロム処理 アルミ-黒アルマイト処理 |
||
| 質量 | 30kg | 60kg | |
| 精度 仕様 |
分解能(出荷時設定) | 0.2μm/pulse | 0.1μm/pulse |
| 繰返し位置決め精度 | ±1μｍ以内 | ±0.7μｍ以内 | |
| ロストモーション | 2.0μｍ以内 | ||
| 静止時負荷容量 (垂直方向等分布荷重) |
2000Ｎ | 3000Ｎ | |
| 移動時負荷容量 (垂直方向等分布荷重) |
400Ｎ | 500Ｎ | |
| 平行度 | 30μm | ||
寸法図
製品仕様
| 呼び型番 | H | H1 | H2 | L | B | Z | W | A1 | T1 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NAF3C-10 | 35 | 6 | 6 | 120 | 110 | 4-5.5キリ φ8深座グリ深サ4.4 |
100 | 20 | 4-M2深6 |
| NAF3C-16 | 45 | 8 | 10 | 170 | 150 | 4-5.5キリ φ9.5深座グリ深サ5.4 |
160 | 60 | 4-M4深6 | NAF3C-20 |
| NAF3C-30 | |||||||||
| NAF3C-40 | 80 | 15 | 15 | 400 | 370 | 4-9キリ φ14深座グリ深サ8.6 |
400 | 210 | 4-M6深15 |
| 呼び型番 | A2 | T2 | A3 | T3 | A4 | T4 | φD | M |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NAF3C-10 | 60 | 4-M3深6 | 90 | 4-M4深6 | ー | ー | ー | ー |
| NAF3C-16 | 90 | 4-M4深8 | 110 | 4-M5深8 | 150 | 4-M5深8 | 20 | ー |
| NAF3C-20 | ||||||||
| NAF3C-30 | ||||||||
| NAF3C-40 | 280 | 4-M6深15 | 330 | 4-M8深15 | 380 | 4-M8深15 | 100 | ー |
システム構成図
使用例
・半導体製造装置、検査装置
・ LCD、PDP、ELパネル製造、検査装置
・ スクリーン印刷、プリント基板印刷機
・ 顕微鏡ステージ 他
NAF3シリーズ（カスタム対応）
製品使用
| 項目 | NAF3A-01 | NAF3A-02 | |
|---|---|---|---|
| 機械仕様 | ストローク | X軸:±3mm Y軸:±3mm θ軸:±3° |
X軸:±5mm Y軸:±5mm θ軸:±3° |
| テーブルサイズ | 125mm x 125mm | 200mm x 200mm | |
| ベースサイズ | 260mm x 260mm | 350mm x 350mm | |
| 高さ | 60mm | 60mm | |
| モータ | ステッピングモータ （□28mm） |
ステッピングモータ （□42mm） |
|
| ステージ材質 | 鉄-低温黒色クロム処理 アルミ-黒アルマイト処理 |
||
| 質量 | 15kg | 35kg | |
| 精度 仕様 |
分解能(出荷時設定) | 0.2μm/pulse | |
| 繰返し位置決め精度 | ±0.7μｍ以内 | ±0.7μｍ以内 | |
| ロストモーション | 1.0μｍ以内 | 1.0μｍ以内 | |
| 静止時負荷容量 (垂直方向等分布荷重) |
500Ｎ | 1000Ｎ | |
| 移動時負荷容量 (垂直方向等分布荷重) |
100Ｎ | 500Ｎ | |
| 平行度 | 30μm | ||
寸法図
製品仕様
| 呼び型番 | H | H1 | H2 | L | B | Z | W | A1 | T1 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NAF3A-01 | 60 | 24 | 12 | 260 | 230 | 4-6.6キリ φ11深座グリ深サ6.5 |
125 | 100 | 4-M6深10 |
| NAF3A-02 | 60 | 10 | 15 | 350 | 330 | 4-9キリ φ14深座グリ深サ8.6 |
200 | 180 | 4-M6深10 |
| 呼び型番 | A2 | T2 | A3 | T3 | A4 | T4 | φD | M |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NAF3A-01 | ー | ー | ー | ー | ー | ー | 40 | 26 |
| NAF3A-02 | ー | ー | ー | ー | ー | ー | 60 | 33 |
高剛性4アクチュエータタイプ(カスタム対応）
横方向の高剛性化と高精度化を実現した新機構
アライメントを目的としたXYθステージでは剛性と精度が重要視されます。ステージの大型化に伴いその傾向はますます顕著であり、この課題を追究し商品化したものです。
ほとんどのメーカが採用している支持方式を進化させ、従来では成しえなかった高剛性と高精度を実現しています。
特長
高剛性
4つのアクチュエータをテーブル中心から均等に配置し機械的・電気的にテーブルを保持します。従来の3軸方式に比べ横剛性の弱い方向が排除され、全ての方向で高剛性を保つことができます。
高精度
X方向、Y方向共に2つのアクチュエータで駆動することが可能になりテーブルをより高精度に移動させることができます。これによってXY両方向で同一の位置決め精度を出すことが可能になりました。（従来の3軸方式ではX方向を1つのアクチュエータで駆動していた為、特にテーブルの大型化によりアクチュエータが中心から離れるほど、少なからず精度に影響を及ぼしていました。）
構造と原理
4つのアクチュエータによりテーブルを支持し、各モータへの移動指令と保持制御にバランスを持たせることで初めて動作が可能となります。
機械的にクランプし電気的にテーブルを保持することで剛性を上げ、X方向とY方向の移動に対して2つのアクチュエータが均一にテーブルを支えることで精度を上げます。
4軸をバランス良く配置することは加工・組立の技術が必要であり、まさに匠の技です。