PRODUCTS INFORMATIONZチルトステージ
ZチルトステージPRODUCTS
クサビ型Z軸モジュールを3ヶ所配置したチルトステージ。
角度調整する対象物の下面にステージを配置し、各アクチュエータの上下動作により高さや水平レベルの調整が可能です。
テーブルとアクチュエータとのジョイント部は、当社製の球面軸受(SRJ)が使われています。
仕様
ステージサイズ | ストローク | 許容荷重 | ||
---|---|---|---|---|
TIL3Z-2004PR | 280mm×280mm×188mm | Z軸:±8mm ΘX・ΘY±3° |
500N | 詳細ページへ |