PRODUCTS INFORMATIONZチルトステージ

ZチルトステージPRODUCTS

クサビ型Z軸モジュールを3ヶ所配置したチルトステージ。

角度調整する対象物の下面にステージを配置し、各アクチュエータの上下動作により高さや水平レベルの調整が可能です。

テーブルとアクチュエータとのジョイント部は、当社製の球面軸受(SRJ)が使われています。

仕様

  ステージサイズ ストローク 許容荷重  
TIL3Z-2004PR 280mm×280mm×188mm Z軸:±8mm
ΘX・ΘY±3°
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テクニカルインフォメーション
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