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Zチルトステージ

ステージメーカーの開発した独創的アクチュエータ

定盤やアライメントステージなどの水平レベルを調整する小型電動Z軸アクチュエータです。調整する定盤などの下面をこのアクチュエータを3個で支持し、各々別々に上下動作させることにより高さの微小調整や水平レベルの調整をすることができます。
本アクチュエータは定盤の傾きを調整したときの3点の中心間距離の変化を吸収することのできる独自のフレキシブルジョイント機構を有しています。

特長

小型・高剛製
クサビ形機構を採用することにより小型ながら高剛性を実現。

多機能アクチュエータ
高さの微小調整や水平レベルの調整をすることが出来る多機能電動アクチュエータであり、3点の中心間距離の変化を吸収することのできる独自のフレキシブルジョイント機構を有しています。

高精度
高さの微小調整や水平レベルの調整、傾斜機構を利用した焦点深度の浅い顕微鏡装置の光学台や傾斜制御治具として、又小型のZ軸位置決め機構としても利用できます。

製品仕様

アクチュエータ部 仕様内容
サイズ W360mm×D100mm×H130mm
ストローク 10mm
最小分解能 0.1μm
耐荷重 1500N/1台
繰返し位置決め精度 2μm

 

但し、耐荷重は使用条件により異なります。詳しくはご相談ください。

 

 

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