HOME > 製品情報 > システム製品 > Z軸ステージ

Z軸ステージ

電動レベリングブロック くさび式 Z軸 アクチュエーター DLB型

狭いスペース内で重量物のZ軸方向への位置決め、アライメントに最適な高負荷、高剛性、高分解能、省電力アクチュエータ―です。

■用途
・フラット面の平行出しアライメント
・重量物の微少な昇降
・加圧機構部

特長

高負荷・高剛性
Wクロスローラーガイド(*1)を全案内部に配置し断面積あたりの負荷容量、高剛性に優れています。

コンパクト・高推力
取り付け寸法80mm×220mm・高さ75mmのコンパクトサイズから油圧ジャッキ並みの
高推力(4900N)を生みだします。 

高分解能・高精度
1/50減速機+1/10勾配楔機構+2mmリードボールねじの採用により0.004μm/Pの高分解能を有します。
高負荷状態で高い静的精度を維持します。

省電力・ノンブレーキ
フランジ角20mmのステッピングモーターの採用により入力電流は0.7A許容荷重以下では自重落下が無い為ブレーキ機構が不要です。

容易な調整
ボールねじ端の六角穴を利用して人力での駆動が可能です。
電気設備が整う前でも動かす事ができます。

【*1】Wクロスローラーガイド(特許申請中)はオリジナル商品です。ローラー配列を2段にする事により負荷容量を上げ、レールの断面二次モーメントも大きくなることから構造物としての剛性が向上。特にモーメント剛性の向上に効果的です。

性能

仕様/寸法

メカ仕様 有効ストローク 3(mm)
限界ストローク 3.4(mm)
テーブル面サイズ 145×80(mm)
可動搭載荷重 5880(N)
保障掲載荷重 4900(N)
質 量 7.2(kg)
精度仕様 分解能 0.004(μm/P)
最高速度 0.2(mm/s)
繰返位置決め制度 ±1(μm)
ロストモーション 3(μm)
電装 駆動モーター 5相ステッピングモーター
センサ フォトマイクロセンサー(1個)

手動式 精密 レベリングブロック SLB型

■用途
・フラット面の平行出しアライメント
・重量物の微少な昇降
・加圧機構部

特長

高推力
指先でハンドルを回すだけで、最大600kgfを昇降することができます。
負荷時でも自重落下はありません。

精密送り
ハンドル1回転で4μm移動します。一方向への追従性は0.5μm。

粗動送り
ボールねじ軸端の六角穴へ工具を挿入し200μm/回の移動が可能です。

高剛性(*1)
Wクロスローラーガイドを使用する事により剛性を高め、負荷による変形が少なく、
常に円滑な動きが得られます。

クランプ機構
ハンドルを固定するクランプ付きです。位置決め後の誤動作を防止します。

剛性

仕様 / 寸法

ストローク 3(mm)
テーブル面サイズ 145×80(mm)
許容搭載荷重 1000(kgf)
保障搭載荷重 600(kgf)
質 量 7.2(kg)
移動量 / 回 4(μm/回)
反転時 ロス 3(μm)
一方向追従性 0.5(μm)

ご使用上の注意

本製品は精密部品です以下の点にご注意ください。
 \瀉嵬未諒震姪戮0.1mm以下として下さい。
◆ヽ杏瑤ら衝撃を受けたり、落下させると円滑な動作が得られなくなる場合があります。取り扱いには十分ご注意ください。
 ハンドルを持っての運搬はご遠慮ください。
ぁ‐差濂執濟はハンドル以外に手を触れないで下さい。

 

(C) Copyright HEPHAIST SEIKO CO.,LTD. All rights reserved.