PRODUCTS INFORMATIONZチルトステージ

XYθZステージPRODUCTS

XYθステージに「Z軸」をビルトイン!

ワークの高精度位置決めはもとより、
・ワーク間のギャップ調整
・カメラのフォーカス調整
などに威力を発揮します。

特徴

薄型

ダブルスライド機構による「薄型アライメントステージ」に「高精度Z軸機構」をビルトイン。

高精度

パラレル構造のため、精度が平均化され高精度な位置決めが可能です。

製品仕様

項目 X軸 Y軸 θ軸 Z軸
サイズ W320mm×D320mm×H131~161mm
ストローク ±5mm ±5mm ±2.5° +2mm~+30mm
繰返し位置決め精度 ±1μm ±1μm ±1″(計算値) ±1μm
Z軸直交度 60μm/30mm
移動時負荷容量 300N(垂直方向等分布荷重)
静止時負荷容量 300N(垂直方向等分布荷重)
本体重量 約52kg
材質-表面処理 鉄系材料-低温黒色クロムめっき処理
アルミ系材料-黒アルマイト処理
潤滑材 AFFグリス(低発塵グリス)
モータ型式 HG-KR053 HG-KR23B
三菱電機製
ドライバ型式 MR-J4-10A MR-J4-20A
三菱電機製
センサ型式 EE-SX672(OMRON)
テクニカルインフォメーション
各種製品の2次元・3次元CADデータの閲覧、動作シミュレーションなどをご利用頂けます。