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XYθZステージ

XYθステージに「Z軸」をビルトイン!
ワークの高精度位置決めはもとより、
・ワーク間のギャップ装置
・カメラのフォーカス調整
などに威力を発揮します。

特長

薄型
ダブルスライド機構による「薄型アライメントステージ」に「高精度Z軸機構」をビルトイン。

高精度
パラレル構造のため、精度が平均化され高精度な位置決めが可能です。

仕様

  X軸 Y軸 θ軸 Z軸
サイズ W400mm×D480mm×H130〜155mm
ストローク ±5mm ±5mm ±3° 25mm
繰返し位置決め精度 ±1μm ±1μm ±1sec(計画値) ±2μm
負荷容量 300N

 

 

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