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位置決めステージ

位置決めステージとは

ヒーハイスト精工の位置決めステージは、長年培ってきた直動案内軸受及び、精密機器部品の加工技術に、独創的な設計を基に開発された、これまでに類例を見ない数々の特長を備えたステージです。

XYθステージの特長は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。

Zチルトステージの特長は、クサビ形機構にすることで重量の重い定盤や装置をＺ方向への動作が容易に。当社の特許製品である球面軸受SRJにリニアガイドを組み込むことでテーブル面がＺ方向への平面移動だけでなくフレキシブルに角度を変えることが可能です。

NAF3シリーズのXYθステージにZステージをビルトイン。積み重ね型ステージと違い低重心・コンパクト構造となっています。他の製品と組み合わせることにより高精度・多軸の位置決め機構を構築することが可能です。

少スペースで重量物を上下方向へ正確に位置決め高負荷状態で優れた静的精度を維持しています。
負荷時でも自重落下が無い為ブレーキ機構が不要です。