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過去の製品事例

コンビネーションステージ F6シリーズ

6自由度コンビネーションステージ(F6シリーズ)は、限られた環境の中で少しでも多くの自由を得たいとの切なる願いの基に、3組のモノアクシス“XY”ステージを組み合わせ実現したXYZ軸方向の移動、及びXYZ軸回りの旋回が可能なステージです。

直動案内軸上の複数のキャリッジをそれぞれ独立して移動させ、リンクを介してステージを動かすという独創的なメカニズムが、日本および米国の特許になっています。

上面のテーブルは、3個の精密に加工された独特な自社製球面軸受けによって堅固に支持されているので、過剰拘束になることがなく、位置、及び姿勢の制御が容易にできます。

複雑な運動が滑らかにしかも自由にできるので自動組立、検査測定及び複雑な曲面の仕上げ加工等に利用すればその効果は絶大です。従来のXY又はXYθステージ、あるいはロボットなどの構造は、シリアルメカニズムが主流でした。これに対して弊社開発のモノアクシスステージを複数組み合わせる事により、目的に応じた自由度が得られるステージになります。ここに掲げたF6シリーズは、最近たびたび話題になっているパラレルメカニズムに相当します。

特長

非積層方式の採用により、低重心、軽量、安定型でコンパクト、さらに積層による累積誤差が
ありません。

各軸の駆動モータは全て装置の一隅に固定されているので移動するケーブルはなく、
損傷もありません。

パラレル構造のため高精度、高剛性、さらに高速で複雑な動作が可能です。

6つのリニアアクチュエータとリンクの形状の組み合わせによりステージの動作範囲・剛性・精度を
変えることが出来ます。

応用例

・半導体製造装置、検査装置
・LCD、PDP、ELパネル製造、検査装置
・光学機器
・産業用ロボット
・介護用ロボット
・シミュレーション機器・アミューズメント機器

小型マニピュレータ SWF6シリーズ

SWF6シリーズは高精度・リニアアクチュエータを6個円周上に平行に配置し、リンク機構と自社製転がり球面軸受けを組み込んだ6自由度・マニピュレータです。各アクチュエータはサーボモータにより駆動され各軸が3次元の機構演算を元に精密な位置決めを行い互いに協調し合いながらテーブルを高精度に位置決めします。

3次元空間内での複雑な運動が滑らかにかつ自由に出来るので自動組立検査測定及び複雑な曲面の仕上げ加工等に利用すればその効果は絶大です。

特長

高精度・小型化
非積層方式の採用により、シリアル構造と比較し多自由度化による累積誤差が減少します。
またそれぞれのモータが負荷を受け持つので省力化・小型化を実現しました。

ワイヤトラブルの減少
各軸のモータは全て装置の一隅に固定されているので移動するケーブルはなく、損傷もありません。

高剛性・高速動作
パラレル構造のため高精度、高剛性、さらに高速で複雑な動作が可能です。

多彩なステージレイアウト
6つのリニアアクチュエータとリンクの形状の組み合わせによりステージの動作範囲・剛性・精度を変えることが出来ます。

応用例

・半導体製造装置、検査装置
・LCD、PDP、ELパネル製造、検査装置
・光学機器
・工作機械
・産業用ロボット
・介護用ロボット
・ シミュレーション機器・アミューズメント機器

ハイブリッドマニピュレータ

この装置のアプリケーションでは大型のガラス基板を検査するためθxの回転範囲を必要としていましたが、通常のパラレル構造では大きな動作範囲を得にくいという特長がありました。
このハイブリッドマニピュレータでは6自由度のパラレル構造とダイレクトドライブモータによる1自由度のシリアル構造を持っており、パラレル構造の高精度、高剛性、コンパクトという特長とシリアル構造の大きな回転範囲を確保することができました。

ハイブリッド構造を採用することにより6自由度のパラレル構造の様々な長所と、必要なシリアル構造の追加により、互いに特長を生かしあったメカニズムを構成することができます。
ヒーハイスト製コンビネーションステージや小型マニピュレータにも応用は可能です。

特長

ハイブリッド構造を採用することにより6自由度のパラレル構造の様々な長所とシリアル構造の大きな回転範囲を確保することができました。

非積層方式の採用により、低重心、軽量、安定型でコンパクト、さらに積層による累積誤差が
ありません。

パラレル構造のため高精度、高剛性、さらに高速で複雑な動作が可能です。

6つのリニアアクチュエータとリンクの形状の組み合わせによりステージの動作範囲・剛性・精度を変えることが出来ます。

応用例

・半導体製造装置、検査装置
・LCD、PDP、ELパネル製造、検査装置
・光学機器
・産業用ロボット
・介護用ロボット
・シミュレーション機器・アミューズメント機器



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